晶圆厂外延车间氢气管道泄漏监测,选对设备才靠谱
晶圆厂外延车间氢气管道泄漏监测,核心在于“精准捕捉、快速报警、联动处置”。选用科尔诺MOT500固定式氢气检测仪,可实现全流程在线实时监测,无需人工值守,真正实现自动化安全管控。产品专为半导体洁净室、VMB(真空物料搬运系统)、气柜等关键区域量身打造,具备0–1000 ppm宽量程、1 ppm分辨率、响应时间T90≤20秒、检测精度≤±3%的优异性能,确保微量泄漏早发现、快预警、准联动,全面守护晶圆生产安全,助力高效稳定运行。
2026-06-15