GT-903配置PID传感器，量程0-100ppm，分辨率0.1ppm，泵吸式采样，IP67防护，防爆认证，适用于晶圆清洗机台周边、排风口、管道接口等点位IPA浓度检测。
半导体晶圆制造中，异丙醇（IPA）广泛用于清洗和干燥工序。其蒸气逸散不仅影响洁净室洁净度，还可能对操作人员造成健康风险。科尔诺GT-903便携式异丙醇检测仪提供快速、精准的现场检测能力。
技术规格
- 检测气体：异丙醇（IPA）
- 检测原理：PID光离子
- 测量范围：0-100ppm（可扩展0-200ppm）
- 分辨率：0.1ppm
- 检测精度：≤±3%FS
- 响应时间：T90≤20秒
- 采样方式：泵吸式，流量≥0.5L/min
- 电池：4000mAh，续航≥8小时
- 数据存储：可存储检测记录，USB导出
- 显示：2.4寸彩屏
- 防护等级：IP67
- 防爆认证：CLEx25.9118
- 尺寸重量：便携式设计，轻巧
- 采样管：标配细软管，可伸入缝隙
半导体工厂适配特点
- 高灵敏度：PID传感器可检测ppb级VOC，对IPA响应优异。
- 泵吸式：可连接细软管深入机台内部、排风管道等狭窄位置采样，避免人员直接接触。
- 快速响应：20秒内读数，适合大面积巡检。
- 数据存储：记录每次检测结果，便于建立洁净室VOC监控档案。
典型检测点位
| 点位 | 检测目的 | 操作要点 |
|------|---------|---------|
| 清洗机台门缝 | 评估密封性，防止蒸气外泄 | 软管伸入门缝，停留20秒 |
| 排风管道接口 | 确认排风负压是否足够 | 在接口外抽气，判断有无倒流 |
| IPA供应管道阀门 | 检查有无微漏 | 贴近阀门填料处 |
| 维修作业区域 | 进入前安全确认 | 检测作业面浓度 |
报告生成
GT-903导出的数据可形成《洁净室IPA浓度巡检报表》，供厂务和EHS部门存档。
维护：每6个月用标准IPA气体校准一次。PID紫外灯根据使用频率定期更换。
结论：GT-903为半导体晶圆厂提供了便捷、可靠的IPA浓度检测手段。
