MOT500采用热传导传感器，量程0-100%VOL，精度≤±3%，响应≤20秒，标配4-20mA和RS485，2组继电器，防爆Ex db IIC T6，防护IP66，适用于氩气回收系统浓度在线监控。
在氩气回收系统中，实时监测回收气体中氩气的体积浓度，是评估纯化效率、控制回收气切换、节约新气成本的核心环节。科尔诺MOT500固定式氩气检测仪专为此设计，提供高可靠性在线监测方案。
技术规格
- 检测气体：氩气（Ar）
- 检测原理：热传导
- 测量范围：0-100%VOL
- 分辨率：0.01%VOL
- 检测精度：≤±3%FS
- 响应时间：T90≤20秒
- 采样方式：扩散式
- 输出信号：4-20mA（三线制）+ RS485（MODBUS）
- 继电器：2组无源常开触点，容量AC 220V 3A / DC 30V 3A
- 显示：2.4寸彩屏，中文菜单
- 防爆等级：Ex db IIC T6 Gb
- 防护等级：IP66
- 工作温度：-20℃~50℃
- 工作湿度：≤95%RH
- 工作电压：DC 24V
- 功耗：≤2W
- 外形尺寸：196×170×80mm
- 重量：1.5kg
- 壳体材质：压铸铝，氟碳漆表面处理
- 校准：支持红外遥控免开盖校准
- 认证：CPA计量认证、防爆合格证
回收系统集成方案
1. 安装位置：纯化单元出口管道（建议水平管段，开孔安装专用取样接头）；储气罐入口前管道；回收压缩机出口。每个点位配一台MOT500。
2. 信号连接：4-20mA电流信号（对应0-100%VOL）接入PLC模拟量输入模块。PLC根据浓度值执行逻辑判断：浓度≥95%时，开启进罐阀门；浓度≤90%时，关闭进罐阀门并打开排空阀，同时启动新氩补充。
3. 继电器控制：MOT500的两组继电器可独立设定报警阈值。例如继电器1设定下限90%，直接控制排空电磁阀；继电器2设定上限95%，控制进罐阀门。无需PLC也可实现基础自动切换。
4. 数据记录：RS485连接至上位机或触摸屏，实时显示浓度曲线，记录历史数据。数据可用于分析纯化装置性能衰减趋势，提前安排再生维护。
现场维护
MOT500支持红外遥控操作，无需打开壳体。通过遥控器可进行零点校准、目标点校准、报警值设定、继电器模式设置等。日常维护只需每月检查一次进气口是否堵塞，每半年用标准氩气（99.99%）校验一次。
成本效益
以年产1000吨单晶硅的拉晶厂为例，氩气消耗约200万立方米/年。安装MOT500监测回收系统，可将回收气利用率从70%提升至90%，年节约新氩气40万立方米，按市价5元/立方米计算，年节省200万元。设备投资数月即可收回。
